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天鸽自动化科技(上海)有限公司

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日本富士多成分浓度计
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产品: 浏览次数:3日本富士多成分浓度计 
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2025-03-31 14:06
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详细信息
日本富士多成分浓度计
日本富士多成分浓度计FUD-1 Model-53的产品简介:
保养性和高精度内线测量等FUD-1 Model-53的好处就那样,作为半导体制造工艺把小型单元型发信器作为特长的模型。
内置FUD-1 Model-53导电率计
日本富士多成分浓度计的特点:
实时3成分中的2成分浓度计侧可能
标准配备模拟DC4~20mA(2系统)及数字RS232C
标准配备测量错误输出和警报输出
标准装备自己诊断功能·错误信息表示
小型·轻量小区型发信器在线直接设置可能
采用PFA的接液构件、小输出设计对药液没有影响
优点:
高精度连续计测可能
无需定期调整、校对,无需维护
设置时的各种调整等不需要也容易设置
由于实时输出的工程的反馈也容易
用途:
CMP工序CMPー及氧化剂浓度管理等
清洗过程中的清洗液浓度管理等(HF+HNO3?HF+H2SiF6等)
蚀刻工序中的蚀刻液浓度管理等(TMAH+注册?TMAH+Si等)
规格:
型式FUD-1 Model-53
转换器
测量参数超声波传播速度、温度、导电率
显示:LCD(浓度1?浓度2?温度?音速?导电率/各种参数)
输出信号模拟DC4~20mA:2系统(可对浓度值自由设定)
数字RS232C(浓度1、浓度2、音速、温度、导电率、错误代码)
警报上下限测量异常:2系统
电源AC100V~240V 50/60Hz两用30VA(DC24V也可使用)
结构:面板挂载型(根据DIN标准)
环境温度转换器0~50℃
RH85%以下(未结露)
功能输出范围设定功能、警报输出设定功能、浓度显示移动平均功能、浓度显示偏移及增益设定功能、自我诊断功能、安全功能、异常值取消功能、温度时常数修正
选项温度输出(DC4~20mA)
RS485输出(不能与RS232C同时输出)
通道(检量线)大7ch
适配发信器例子SA-20S29+导电率计、SA-20S27+导电率计
http://www.shyilide03.cn/SonList-1895852.html
https://www.chem17.com/st392841/product_32297194.html

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